应力测定范围::≤560nm 全波片光程差::560nm 检偏镜通光口径::φ150mm 台面玻璃通光口径::φ220mm
定性位置:应力测量范围 560nm(一级干涉色)以下 全波片光程差 :560nm 检偏镜通光口径:φ150mm 台面玻璃通光口径: φ220mm 可测量样品最大高度:250mm 应力测量范围:280nm(一级干涉色)以下 分辨率 :0.2nm